[发明专利]基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法在审
| 申请号： | 202011071821.6 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112461465A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 桑梅;董洁;王双;韩群;胡浩丰 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘国威 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS面内动态特性测量领域，为实现MEMS器件高精度的面内动态位移特性的测量，突破现有技术的限制，得到更为清晰的图像以及精确地测量出MEMS的面内振动情况，并且能够探测MEMS器件的光学特性。为此，本发明采取的技术方案是，基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法,通过频闪补光提高图像的亮度，获得更为清晰的视频图像，将采集到的视频图像进行偏振降噪处理,增强图像的对比度，通过频闪成像的面内位移算法，计算得到MEMS器件的面内振动位移，最后通过偏振成像技术分析MEMS器件的偏振特性。本发明主要应用于面内动态特性测量场合。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 偏振 成像 mems 振动 特性 测量方法 | ||
【主权项】：
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