[发明专利]一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置在审
| 申请号： | 202011061671.0 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN114323366A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张群英;尚海平;王玮冰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置，方法包括：创建压阻压力传感器的结构模型；为感压膜、横向压阻条及纵向压阻条设置对应的材料属性；根据预设的施压策略向结构模型施加压力，获得结构模型对应的应力云图；基于应力云图调整各压阻条的分布位置，使得各压阻条和分布在应力云图中同一应力梯度内；如此，获得感压膜上的差值应力云图，根据差值应力云图调整各压阻条的分布位置，使得横向压阻条和纵向压阻条分布在应力云图中的同一应力梯度内；使横向压阻条及纵向压阻条之间的应力差异达到最小化，从而降低非线性误差；该方法不需要改变感压膜结构，压阻条掺杂浓度及增加后续电路等，因此不会造成工艺难度的增加及器件成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 压力传感器 非线性 误差 方法 装置 | ||
【主权项】：
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