[发明专利]一种电子束斑检测方法与装置

摘要

本申请提出一种电子束斑检测方法与装置，装置包括：电子束发生装置、信号采集装置、检测板、真空室和计算机设备。该装置基于计算机设备和信号采集装置的结构，通过计算机设备控制电子束发生装置产生和驱使电子束按照预设轨迹扫描检测板产生过程信号，所述检测装置包括二次电子或背散射电子检测系统、电声信号检测系统、电声信号检测系统、信号发生器和数字扫描发生器。避免了因视角倾斜导致的图像畸变的影响，具有较高的可靠性高和精度，同时大幅提高了检测效率。利用本发明提供的方法和装置用于检测增材制造过程中工件的表面形貌特征和内部分层结构特征,结构简单,藕合性好,不会额外增加成本和复杂性。