[发明专利]基于溶液浓度在线估计的晶体生长过程控制方法有效
| 申请号： | 202011023140.2 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112126971B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 潘丰 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | G01N9/36 | 分类号： | G01N9/36;C30B7/08;C30B29/14 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 刘秋彤;梅洪玉 |
| 地址： | 214122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于溶液浓度在线估计的晶体生长过程控制方法，属于生产过程控制领域。晶体生长系统包括生长装置、控制装置和基于视觉的尺寸检测装置。载晶架顺时针旋转、停止、逆时针旋转、停止，循环运行。载晶架旋转停止时通过视觉系统在线检测生长晶体的尺寸，根据生长晶体的尺寸在线估计生长溶液浓度从而计算生长溶液的过饱和度，根据过饱和度的要求按规则调节生长溶液降温速率，改变生长溶液的温度。本发明方法通过生长溶液的过饱和度变化来改变生长溶液的温度，既能够保证晶体能够有着稳定的快速的生长速度，又能保证晶体的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 溶液 浓度 在线 估计 晶体生长 过程 控制 方法 | ||
【主权项】：
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