[发明专利]薄膜晶体管、显示面板、显示器及薄膜晶体管的制备方法在审
| 申请号： | 202011017287.0 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN114256356A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡奇哲;梁靖靖;吴威谚 | 申请（专利权）人： | 咸阳虹微新型显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/335;H01L27/12 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 马瑞 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管、显示面板、显示器及薄膜晶体管的制备方法，该薄膜晶体管包括基底结构；有源层，有源层包括通道层、第一导电层和第二导电层，通道层设置于基底结构上，第一导电层和第二导电层分别设置于通道层的两端；源极，设置于基底结构和第一导电层上；漏极，设置于基底结构和第二导电层上；其中，在源极和漏极之间暴露部分所述通道层。本发明的所提供的薄膜晶体管不仅可以避免通道层的界面因刻蚀用于形成源极和漏极的金属材料造成损伤的现象出现，同时还可以降低源极与第一导电层之间的势垒高度、漏极与第二导电层之间的势垒高度，从而提高了最终制备的器件的开态电流及整体电性性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 显示 面板 显示器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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