[发明专利]一种大直径单晶硅生产设备

摘要

本发明涉及单晶硅生产技术领域，且公开了一种大直径单晶硅生产设备，包括固定箱、上炉腔和转向轮，所述固定箱内腔左部固定安装有保温筒一，所述保温筒一的内壁固定安装有加热元件，所述上炉腔的顶部两侧均固定安装有转向轮，所述固定箱的内腔中部固定安装有石英坩埚，所述石英坩埚的底部固定连通有输送管。通过生长箱和石英坩埚的设置，使得固体多晶硅的融化与单晶硅的提取分为两个地点，进而减少多晶硅融化时产生的不稳定热场对单晶硅提取的影响，同时硅溶液在输送过程中，不在进行加热，以此增加熔体分布的范围与高度，提高熔体内的轴向温度梯度，降低熔体其他处温度对生长界面处的影响，提高单晶硅体的生长速度。