[发明专利]半导体设备有效
| 申请号： | 202010976897.7 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112144037B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 郭宏瑞;李冰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体设备，包括反应腔室、冷泵和盖板组件；冷泵设置于反应腔室的腔室壁外侧，反应腔室的腔室壁上开设有第一通孔，冷泵通过第一通孔与反应腔室相连通；盖板组件包括驱动机构和与驱动机构相连的盖板，驱动机构的部分固定设置于腔室壁外侧，且驱动机构与反应腔室密封相连，盖板位于反应腔室内，驱动机构驱动盖板沿第一通孔的轴线方向移动，以调节盖板与第一通孔之间的距离；在第一通孔的轴线方向上，盖板朝向第一通孔所在的腔室壁的投影与第一通孔至少部分重合。上述方案能够解决调节反应腔室工艺压力所花费的时间较长，造成半导体设备的加工效率较差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 | ||
【主权项】：
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