[发明专利]一种具有除泡功能的集成电路制作设备在审
| 申请号： | 202010971425.2 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112122065A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 平克宇 | 申请（专利权）人： | 南京利硕斯机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;H01L21/67;B05B15/50;B01D19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有除泡功能的集成电路制作设备，包括箱体和点胶管，所述箱体的形状为长方体，所述点胶管竖向设置在箱体的下方，所述点胶管上设有执行装置，所述箱体内使用除泡机构和辅助机构，所述除泡机构包括驱动电机、固定管、螺杆、传动轴和两个除泡组件，所述除泡组件包括连接杆、连接块、扭转弹簧、敲击杆和固定块，所述辅助机构包括连接管、密封环、转动杆、固定锥齿轮、筛网和两个辅助组件，所述辅助组件包括转动锥齿轮、轴承和辅助管，该具有除泡功能的集成电路制作设备通过除泡机构实行了除泡功能，不仅如此，还通过辅助机构实现了清除结块的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 功能 集成电路 制作 设备 | ||
【主权项】：
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