[发明专利]一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器有效
| 申请号： | 202010967366.1 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112254631B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈晓强;张毅;牛俊凯;时云鹏;闫道恒;李国伟 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34;G01B7/14 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 王聚才 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种用于具有导电属性工件平面度的检测方法和仪器。本发明通过利用导电材料正负极间的间隙效应，极间距离和击穿电压的关系接近直线，间隙击穿电压梯度基本不变的原理，将探针和砂轮及其附属件分布做为正负两极，通过标准件设定最小击穿电压和极间距离的函数，以符合该函数的电压值调整探针与被测件的距离使空气刚好被击穿，测得此时探针的位置，从而得出该点与标准件的误差，通过多点测量得出被测件的平面度，整个测量过程无接触，实现了无损测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 具有 导电 属性 工件 平面 检测 方法 仪器 | ||
【主权项】：
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