[发明专利]光阻脱除剂和电子元件及其制造方法在审
| 申请号： | 202010965226.0 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN112130428A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 朱翊祯;卢厚德 | 申请（专利权）人： | 达兴材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 秦剑 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
一种光阻脱除剂，包括由式1表示的醇醚类化合物、选自式2表示的化合物、式3表示的化合物及其混合物的极性溶剂以及至少一种由式4表示的仲醇胺或叔醇胺，其中n为1～3的整数；R |
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| 搜索关键词： | 脱除 电子元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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