[发明专利]一种相位测量轮廓术中投影光栅的快速自校正方法有效
| 申请号： | 202010961057.3 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112229342B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 马峻;葛旭文 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/25 |
| 代理公司： | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人： | 张学平 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种相位测量轮廓术中投影光栅的快速自校正方法，解决的是影响测量精度的技术问题，通过采用步骤一，就投影界面，使用光栅公式计算边界峰值点作为第一标定点；就参考平面畸变光栅计算光栅上下边界和条纹峰值线，通过相交线提取计算边界峰值点作为第二标定点；步骤二，根据第一标定点和第二标定点计算出投影平面与参考平面的变换矩阵H；步骤三，将参考平面的有效区域设定为标准正弦光栅，结合步骤二的变换矩阵H，逆求解出投影光栅图像，完成校正的技术方案，较好的解决了该问题，可用于相位测量中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相位 测量 轮廓 投影 光栅 快速 校正 方法 | ||
【主权项】：
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