[发明专利]一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法在审
| 申请号： | 202010958940.7 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN114188445A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;程昌辉;吴向龙;闫宝华;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/02;H01L21/027;H01L33/36;G03F7/42 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种砷化镓基LED的管芯结构的制作方法，包括：(1)在砷化镓衬底上依次生长外延层、电流扩展层；(2)N面金属电极制作；(3)P面金属膜层制作；(4)管芯切割；(5)P面金属电极图形制作：将粘性膜贴附在LED晶片正面，并将粘性膜撕掉，从而剥离掉P面电极表面的切割碎屑；再将粘性膜贴附在LED晶片正面，第二次将粘性膜撕掉，从而剥离掉LED晶片正面除P面金属电极图形区域外其它金属，得到完整的P面金属电极图形；(6)去胶清洗。本发明提供制作方法简单、易操作，整个管芯的制作效率提升10％以上，不使用切割保护液，同时降低了电极剥离过程中有机溶剂和去胶液的使用，节约材料成本30％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓基 led 管芯 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
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