[发明专利]晶圆检测任务的处理方法、装置、系统及存储介质在审
| 申请号： | 202010955527.5 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN114168310A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 瞿德清 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/50 | 分类号： | G06F9/50;G06Q10/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;刘芳 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种晶圆检测任务的处理方法、装置、系统及存储介质。该方法包括：资源管理节点接收来自存储服务器的晶圆检测任务，根据与资源管理节点连接的每个工作节点的权重值，从多个工作节点中选出目标工作节点，将晶圆检测任务分配给目标工作节点。目标工作节点从资源池中选出一个空闲GPU，将晶圆检测任务分配给空闲GPU执行。GPU对晶圆检测任务中的晶圆图片进行预处理，将处理后的晶圆图片输入到晶圆检测模型，得出检测结果。通过上述两级任务调度，将晶圆检测任务分散到各个工作节点的GPU上执行，实现工作节点之间以及GPU之间的负载均衡，可满足对海量晶圆图片进行缺陷检测的实时性要求，提高了系统处理晶圆检测任务的吞吐量。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 任务 处理 方法 装置 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
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