[发明专利]一种传感器及其制作方法和测试方法、测试装置有效
| 申请号： | 202010955216.9 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112050949B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李凡;张俊瑞;兰荣华;王志东;周丽佳 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/16;G01J5/10;G01J5/20;G01J5/22;G01J5/00;G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传感器及其制作方法和测试方法、测试装置，涉及传感器技术领域，目的是提供一种新型的传感器。传感器包括：衬底和位于衬底之上的至少一个红外测温单元；红外测温子单元包括：第一支撑部、至少一个第二支撑部、热电偶和红外吸收部；其中，热电偶包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别包括第一端和第二端；第一电极的第一端和第二电极的第一端相连、且位于第一支撑部之上；红外吸收部位于第一支撑部之上且覆盖第一电极的第一端和第二电极的第一端；第一电极的第二端和第二电极的第二端不相连、且位于第二支撑部之上；红外测温单元中，至少相邻的第一支撑部和第二支撑部之间包括空腔结构。本发明适用于传感器的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 及其 制作方法 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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