[发明专利]一种摩擦电式压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 202010954548.5 | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN112097962B | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 文震;孙旭辉;张婷婷;刘伊娜 | 申请(专利权)人: | 苏州慧闻纳米科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;G01L9/00;B32B33/00 |
代理公司: | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人: | 张玉涛 |
地址: | 215301 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种摩擦电式压力传感器及其制备方法。该制备方法包括如下步骤:提供一具有凹腔的模具,并在凹腔内置入磁流体;在模具的下方放置永磁体,以在永磁体产生的磁场下将磁流体的形状改变为阵列式布置的多个永磁体尖端结构;将可固化聚合物混合溶液施加在凹腔内,且浸没多个永磁体尖端结构,在可固化聚合物混合溶液完全固化后进行剥离操作,以获得聚合物模板;将可拉伸材料前驱体填充在聚合物模板内,并在可拉伸材料前驱体完全固化后进行剥离操作,以获得其第一表面具有阵列式布置的多个摩擦层尖端结构的可拉伸摩擦层;将可拉伸摩擦层、间隔层、第一电极层和第二电极层进行组装,制备获得摩擦电式压力传感器。该摩擦电式压力传感器具有较高的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 摩擦 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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