[发明专利]一种WTi合金溅射靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010953981.7 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112111713B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/14;B22F1/14;B22F3/24;C22C27/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种WTi合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：将W粉、高纯Ti粉和低纯Ti粉放入不锈钢内衬混粉机中进行混合，然后装入模具并封口；依次经过热压烧结处理、机加工得到WTi合金溅射靶材。所述制备方法采用现有技术易得的原材料粉末，一方面，经过高低两种纯度Ti粉的配比，在保证一定Fe含量的同时，有效保证了Ti粉总纯度处于较高水平，另一方面，创造性地采用不锈钢内衬混粉机进一步补充Fe元素，不仅可以精准控制WTi合金溅射靶材中Fe含量为30‑50ppm，还可以保证WTi合金溅射靶材的纯度≥99.99％；此外，所述制备方法具有原料易得、成本低、操作简单、便于推广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wti 合金 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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