[发明专利]一种四质量双解耦的Z轴硅微陀螺仪

摘要

本发明涉及Z轴陀螺仪，具体是一种四质量的Z轴陀螺仪，每个质量块均为双解耦结构。本发明解决了现有音叉式Z轴陀螺仪振动噪声大的问题。一种四质量双解耦的Z轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、玻璃盖帽、四个驱动模块、四个复合质量块、一个检测模块、两组杠杆式连接梁、两组几字型连接梁；所述四个驱动模块的每个驱动模块包括一个半框驱动质量块、四个锚块、四根驱动梁、四根解耦梁、若干驱动梳齿电容；所述检测模块包括框架式检测质量块、两组检测梳齿电容、四根斜L型解耦梁、四根检测弹性支撑梁、两个锚块；所述两组杠杆式连接梁、每组包含一根杠杆，中心弹性支撑梁一根，弹性支撑梁两根。本发明适用于导航制导、无人机姿态控制等应用领域。