[发明专利]一种四质量双解耦的Z轴硅微陀螺仪

权利要求书

1.一种四质量双解耦的Z轴硅微陀螺仪，其特征在于：包括玻璃基底(1)、玻璃盖帽(2)、四个驱动模块、四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)、一个检测模块、两组杠杆式连接梁、两组几字型连接梁(303a、303b)；

四个驱动模块、四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)、一个检测模块、两组杠杆式连接梁、两组几字型连接梁(303a、303b)位于玻璃基底(1)的上方，位于玻璃盖板(2)的下方；四个驱动模块、四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)、一个检测模块、两组杠杆式连接梁、两组几字型连接梁(303a、303b)均与玻璃基底(1)、玻璃盖板(2)平行；四个驱动模块、四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)、一个检测模块、两组杠杆式连接梁、两组几字型连接梁(303a、303b)的下表面与玻璃基底(1)的上表面之间留有间隙；四个驱动模块、四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)、一个检测模块、两组杠杆式连接梁、两组几字型连接梁(303a、303b)的上表面与玻璃盖板(2)的下表面之间留有间隙；

所述四个驱动模块，每个驱动模块包括一个半框驱动质量块(401a或401b或401c或401d)、四个锚块(501a、501b、501c、501d(共用)或501d(共用)、501e、501f、501g或501h、501i、501j、501k(共用)或501k(共用)、501l、501m、501n)、四根驱动梁(302a、302b、302c、302d或302e、302f、302g、302h或302i、302j、302k、302l或302m、302n、302o、302p)、四根解耦梁(301a、301b、301c、301d或301e、301f、301g、301h或301i、301j、301k、301l或301m、301n、301o、301p)、若干驱动梳齿电容(201a、201b或201c、201d或201e、201f或201g、201h)；所述半框驱动质量块(401a或401b或401c或401d)与所述四根驱动梁(302a、302b、302c、302d或302e、302f、302g、302h或302i、302j、302k、302l或302m、302n、302o、302p)相连，所述四根驱动梁(302a、302b、302c、302d或302e、302f、302g、302h或302i、302j、302k、302l或302m、302n、302o、302p)的另一端通过所述四个锚块(501a、501b、501c、501d(共用)或501d(共用)、501e、501f、501g或501h、501i、501j、501k(共用)或501k(共用)、501l、501m、501n)固定在玻璃基底(1)上；所述半框驱动质量块(401a或401b或401c或401d)与所述四根解耦梁(301a、301b、301c、301d或301e、301f、301g、301h或301i、301j、301k、301l或301m、301n、301o、301p)相连；

所述四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)分别通过所述四根解耦梁(301a、301b、301c、301d或301e、301f、301g、301h或301i、301j、301k、301l或301m、301n、301o、301p)与所述四个半框驱动质量块(401a、401b、401c、401d)分别连接；所述四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)分别连接四根斜L型解耦梁(304a、304b、304c、304d)；所述四个半框驱动质量块(401a、401b、401c、401d)和所述四个复合质量块(402a、402b、402c、402d)分别通过所述四根解耦梁(301a、301b、301c、301d或301e、301f、301g、301h或301i、301j、301k、301l或301m、301n、301o、301p)相连，且分别在所述四根驱动梁(302a、302b、302c、302d或302e、302f、302g、302h或302i、302j、302k、302l或302m、302n、302o、302p)和所述四根斜L型解耦梁(304a、304b、304c、304d)的约束下可以沿x方向做线振动；

所述检测模块包括框架式检测质量块(403)、两组检测梳齿电容(202a、202b)、四根斜L型解耦梁(304a、304b、304c、304d)、四根检测弹性支撑梁(305a、305b、305c、305d)、两个锚块(502a、502b)；所述框架式检测质量块(403)与所述四根斜L型解耦梁(304a、304b、304c、304d)连接，所述四根斜L型解耦梁(304a、304b、304c、304d)为所述框架式检测质量块(403)隔离所述复合质量块(402a、402b、402c、402d)的x方向线振动；所述框架式检测质量块(403)的两侧连接所述四根检测弹性支撑梁(305a、305b、305c、305d)的一端，所述四根检测弹性支撑梁(305a、305b、305c、305d)的另一端通过所述两个锚块(502a、502b)固定在玻璃基底(1)上；所述框架式检测质量块(403)的内部有两组检测梳齿电容(202a、202b)；

所述两组杠杆式连接梁，每组杠杆式连接梁包含一根杠杆(311a或311b)，中心弹性支撑梁一根(312a或312b)，两端弹性支撑梁两根(310a、310d或310b、310c)；所述杠杆(311a)的中部与所述中心弹性支撑梁(312a)的一端相连，所述中心弹性支撑梁(312a)的另一端通过连接所述锚块(502a)固定在玻璃基底(1)上；所述杠杆(311a)的两端分别连接所述两端弹性支撑梁(310a、310d)的一端，所述两端弹性支撑梁(310a、310d)的另一端分别连接所述半框式驱动质量块(401a、401d)；与之完全对称的，所述杠杆(311b)的中部与所述中心弹性支撑梁(312b)的一端相连，所述中心弹性支撑梁(312b)的另一端通过连接所述锚块(502b)固定在玻璃基底(1)上；所述杠杆(311b)的两端分别连接所述两端弹性支撑梁(310b、310c)的一端，所述两端弹性支撑梁(310b、310c)的另一端分别连接所述半框式驱动质量块(401b、401c)；

所述两组几字型连接梁(303a、303b)分别将所述半框式驱动质量块(401a和401b)、(401c和401d)连接。