[发明专利]新增生产工具的合格检验方法和检验系统在审
| 申请号： | 202010945285.1 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN114254682A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈予郎 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高德志 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种新增生产工具的合格检验方法和检验系统，所述检验方法，在获得若干新工具良率数据和旧工具良率数据后，对所述若干新工具良率数据和旧工具良率数据进行数据分析，判断所述若干新工具良率数据和旧工具良率数据是否属于高良率类别或偏高良率类别，若“属于”，则剔除相应的新工具良率数据和旧工具良率数据，剩余的新工具良率数据和旧工具良率数据作为筛选后的新工具良率数据和旧工具良率数据；基于所述筛选后的新工具良率数据和旧工具良率数据，判断所述新的生产工具是否合格。通过前述检验方法，对新增生产工具的合格检验过程标准化和流程化，并且提高新工具合格检验结果的准确性，并且提高新工具合格检验过程的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 新增 生产工具 合格 检验 方法 系统 | ||
【主权项】：
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