[发明专利]一种气体传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010943336.7 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114235903A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 潘革波;陈子杨;张少辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体传感器的制作方法，该制作方法包括：对基板进行部分氧化，使被氧化的部分成为气体敏感部；其中，基板由含有金属元素的半导体材料制成，气体敏感部与基板的未被氧化的部分之间形成异质结。本发明解决了现有的气体传感器的气敏层容易脱落的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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