[发明专利]动态随机存取存储器及其形成方法

摘要

本发明公开一种动态随机存取存储器及其形成方法，其中该动态随机存取存储器包括：基底、多个字符线组、多个位线结构、多个电容器、多个电容器接触窗以及多个空气间隙。基底具有多个主动区。字符线组沿着Y方向延伸并配置在基底中。位线结构沿着X方向延伸并配置在基底上，且横越多个字符线组。电容器分别配置在多个主动区的两端点上。电容器接触窗分别配置在电容器与主动区之间。空气间隙分别配置在由位线结构与电容器接触窗所包围的多个空间中。另提供一种动态随机存取存储器的形成方法。