[发明专利]一种太阳能电池硅片扩散插片工艺有效
申请号: | 202010939655.0 | 申请日: | 2020-09-09 |
公开(公告)号: | CN112117349B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 盛文彬;沈根法;刘克勇 | 申请(专利权)人: | 湖州奥博石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 杨学强 |
地址: | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种太阳能电池硅片扩散插片工艺,涉及太阳能技术领域。一种太阳能电池硅片扩散插片工艺,工艺包括:步骤S01,准备合片,正花篮正放硅片,反花篮反放硅片。步骤S02,合片,正花篮固定放置在底板一上、反花篮固定放置在底板二上,正花篮与反花篮开口侧相对。调节底板一、底板二,令正花篮的硅片槽与反花篮的硅片槽错位,用推板二将反花篮内的硅片推入正花篮内。步骤S03,准备插片,取下底板二上的反花篮,调整推板二后,固定放置石英舟在底板二上,石英舟卡槽开口与正花篮开口侧相对。步骤S04,调整底板一、底板二令正花篮的硅片槽与石英舟的卡槽相对应,用推板一将正花篮内的硅片推入石英舟内。本发明提出的工艺高效且稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 硅片 扩散 工艺 | ||
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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