[发明专利]腐蚀液回收再利用装置及方法在审
| 申请号： | 202010909301.1 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN114195245A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 崔相龙;胡艳鹏;卢一泓;李琳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | C02F1/60 | 分类号： | C02F1/60;C02F1/28;C02F101/10 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种腐蚀液回收再利用装置及方法，应用于半导体制造领域，该装置包括：回收槽，与批处理设备的工艺槽连接，回收槽用于接收并存储从工艺槽排出的腐蚀液，并向工艺槽加入经去除SiO |
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| 搜索关键词： | 腐蚀 回收 再利用 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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