[发明专利]一种含铜金属膜用蚀刻液有效
| 申请号： | 202010896818.1 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN114107989B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 鄢艳华;夏明鹏;赵大成 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 谭果林 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于蚀刻技术领域，特别是涉及一种含铜金属膜用蚀刻液。包括过氧化氢、有机酸、金属螯合剂、有机溶剂和水；所述有机溶剂为砜类和/或含羟基醚类。本发明实施例中以过氧化氢作为主要氧化剂，有机酸辅助所述过氧化氢，加速铜的溶解，添加所述金属螯合剂来抑制所述过氧化氢的分解，添加所述有机溶剂来抑制铜系络合物的析出，不仅可以保证在较低侧向蚀刻的情况无蚀刻残留，使得在温和的反应条件下对铜及合金膜高效且高精度地进行蚀刻，而且使用过程中无需引入其它添加剂作为补充液，且在较长的蚀刻时间(大于等于72hr)的情况下仍保证较长的蚀刻寿命，溶铜量大于等于9000ppm，无铜络合物析出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属膜 蚀刻 | ||
【主权项】：
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