[发明专利]MOM电容器及半导体元件在审
| 申请号： | 202010872394.5 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN111900251A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 曹云 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MOM电容器及半导体元件，MOM电容器包括呈菱形分布的四个电容部分，每个电容部分包括交替设置且相互平行的多个电极条，电极条与菱形的对角线具有一预设夹角以使同一电容部分的多个电极条与菱形的两条对角线构成三角形，位于同一电容部分的相邻两个电极条的极性相反且之间填充有电介质，关于菱形的任一对角线对称的两个电容部分上的电极条相互对称且极性相反。通过将MOM电容的结构设计为菱形，使得不论是沿X轴方向还是沿Y轴方向经过MOM电容器上的信号线都同时经过形状相等且对称的正电极条及负电极条，进而使得信号线对MOM电容器的正电极条和负电极条产生的寄生电容相同且差值为0，避免了信号线发生信号跳变对MOM电容器造成干扰。 | ||
| 搜索关键词： | mom 电容器 半导体 元件 | ||
【主权项】：
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