[发明专利]一种单晶炉的组合套筒及单晶炉在审
| 申请号： | 202010795735.3 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN111876823A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;沈福哲 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶炉的组合套筒及单晶炉，所述组合套筒包括：内筒、外筒和底筒，所述外筒上下开口，外筒套设在内筒外围，底筒设置于外筒的底端开口处，所述底筒包括环形底盘和下筒，所述内筒和所述下筒均呈倒锥形，所述内筒的上端与外筒的上端连接，所述环形底盘的外缘部与外筒的下端密封连接，所述环形底盘的内缘部与所述下筒的上部连接，所述内筒的下端与所述环形底盘的上表面固定连接。根据本发明实施例的组合套筒，可以保持硅熔液表面固、液、气三相交界点的稳定，保持温度场的稳定性，有利于晶棒的无缺陷生长，而且在硅熔液表面超过一定高度后，可以加快晶棒的冷却，使得晶棒快速度过缺陷形核长大的温度区间，最终制得高品质的晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 组合 套筒 | ||
【主权项】：
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