[发明专利]一种多晶硅片制绒表面后处理贴盖

摘要

本发明公开了一种多晶硅片制绒表面后处理贴盖，属于硅片加工技术领域，一种多晶硅片制绒表面后处理贴盖，本方案通过将处理贴盖盖在多晶硅片上，可以借助热动力穿刺与空气中的氧气反应后产生的热量，促使整个第一弹性膜以及其上的热动力穿刺上移，迫使热动力穿刺将第二弹性膜戳破，从而使得第二弹性膜上侧的八水氢氧化钡粉末与氯化铵粉末混合并反应，迅速制冷的同时也能产生大量的氨气，气体从第一释放孔内排出并最终进入至第二释放孔内，并被第二释放孔内的海绵塞柱吸收，借助气体流动时借助对热动力穿刺的吹拂，可以促使热动力穿刺摆动的同时，对多晶硅片上的水进行吸收，从而加速水分的蒸发，以此实现对多晶硅片表面的冷干燥。