[发明专利]一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法有效
申请号: | 202010771843.7 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN111883619B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 张继军;田亚杰;黄健;李磊;王林军;梁小燕;陶思琪 | 申请(专利权)人: | 上海大学;中广核工程有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0296;H01L31/08;C30B33/10 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人: | 刘立平;张勤绘 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法,采用移动加热器法完成晶体的生长,依次包括由生长炉温度场分布的设定、各组分化学计量比的配比完成、合料形成多晶料锭、建立回溶控制步序、单晶晶片的切割制成、制备电极阴阳极面的区分、晶体表面处理、电极制备、钝化处理构成的工序。本发明的一种核辐射探测器用电极的构成及晶体的制备方法,通过上述步序形成的晶体生长控制与电极结构设置,完成了具有载流子迁移率高、表面光滑、成分均匀的晶体及高质量的欧姆接触特性的探测器用复合电极的制备,为探测器的优秀能谱响应提供了保障。 | ||
搜索关键词: | 一种 核辐射 探测 器用 电极 构成 晶体 制备 方法 | ||
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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