[发明专利]一种用于电子束物理气相沉积的叶片预热装置及方法有效
| 申请号： | 202010758836.3 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111893452B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 姜春竹;崔向中;高巍;周国栋;马江宁 | 申请（专利权）人： | 中国航空制造技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于电子束物理气相沉积的叶片预热装置及方法，该装置包括预热组件和真空室，预热组件用于对叶片进行预热且包括第一加热箱和第二加热箱，第一加热箱内具有一端开口的第一容置腔，第一加热箱内背离开口的一侧设有第一发热体，第二加热箱内具有一端开口的第二容置腔，第二加热箱内背离开口的一侧设有第二发热体，第一容置腔与第二容置腔的尺寸和形状相同，第一加热箱上还具有连通第一容置腔内外侧的第一半圆形卡具孔，第二加热箱上还具有第二容置腔内外侧的第二半圆形卡具孔。本发明在相对密闭的空间内对叶片辐射加热，能够快速的加热叶片，能量浪费少，有利于节约能耗，还可降低设备投入成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子束 物理 沉积 叶片 预热 装置 方法 | ||
【主权项】：
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