[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法在审
| 申请号： | 202010756834.0 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112394076A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | T·图玛;J·克卢萨切克;J·派特雷克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/20091 | 分类号： | G01N23/20091;G01N23/2206;G01N23/04;G01N23/046;G01N23/203;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品；使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；和使用第一检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第一类型的发射。检测到的所述第一类型的发射的光谱信息用于将多个相互不同的相位分配给所述样品。在另外的步骤中，参考HSV颜色空间，使对应的多种不同的颜色色调与所述多个相互不同的相位相关联。使用第二检测器检测因响应于样品的扫描射束而产生的来自所述样品的第二类型的发射。最后，提供了所述样品的图像表示。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 带电 粒子 显微镜 检查 样品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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