[发明专利]曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺

摘要

本发明提供了一种曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，包括微机电振动陀螺本体，所述微机电振动陀螺本体包括谐振结构，所述谐振结构包括锚点、曲折柔性环和辐条，所述锚点外侧设置多个以锚点为中心依次嵌套的呈圆形结构的曲折柔性环，相邻的曲折柔性环之间以及位于最里层的曲折柔性环与锚点之间通过多根均匀分布的轮辐状的辐条连接，每一个曲折柔性环上相邻两个辐条分割的部分为曲线折叠的弯曲梁。本发明提供的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺与传统嵌套环式陀螺相比，能够实现更高的热弹性品质因数和更大的驱动位移，具有更高的灵敏度和更低的机械热噪声。