[发明专利]曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺

权利要求书

1.曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：包括微机电振动陀螺本体，所述微机电振动陀螺本体包括谐振结构，所述谐振结构包括锚点、曲折柔性环和辐条，所述锚点外侧设置多个以锚点为中心依次嵌套的呈圆形结构的曲折柔性环，相邻的曲折柔性环之间以及位于最里层的曲折柔性环与锚点之间通过多根均匀分布的轮辐状的辐条连接，多根均匀分布的轮辐状的辐条将每一个曲折柔性环分割成多个弧，每一个曲折柔性环上相邻两个辐条分割的弧为曲线折叠的弯曲梁。

2.根据权利要求1所述的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：所述谐振结构包括谐振结构内环部分和谐振结构外环部分，所述谐振结构内环部分靠近锚点，所述谐振结构外环部分远离锚点；所述谐振结构内环部分相邻曲折柔性环之间的辐条长度大于所述谐振结构外环部分相邻曲折柔性环之间的辐条长度。

3.根据权利要求2所述的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：所述微机电振动陀螺本体还包括衬底和电极组件，所述电极组件和锚点均通过衬底上的凸台与衬底键合连接，所述谐振结构和电极组件由同一硅片制成处于一个结构层，所述衬底布置于所述结构层的下侧。

4.根据权利要求3所述的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：所述电极组件和锚点上表面均设有用于后期封装金属引线的金属焊盘。

5.根据权利要求3所述的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：所述电极组件包括外置电极和内置电极，所述外置电极设置在谐振结构四周，所述内置电极置于谐振结构外环部分中的相邻的曲折柔性环间隙中。

6.根据权利要求5所述的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：所述内置电极包括内置非差分电极，前差分内置电极对和后差分内置电极对，所述后差分内置电极对设置在谐振结构外环部分远离锚点的相邻的曲折柔性环间隙中，所述前差分内置电极对设置在谐振结构外环部分靠近锚点的相邻的曲折柔性环间隙中，所述内置非差分电极设置在后差分内置电极对和前差分内置电极对之间的相邻的曲折柔性环间隙中。

7.根据权利要求1-6任一所述的曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺，其特征在于：所述曲折柔性环的嵌套环式微机电振动陀螺由单晶硅材料制造而成。