[发明专利]一种晶圆自动装盘装置有效
| 申请号： | 202010740781.3 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111627792B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 李凯杰;赵成浩;郭明灿;王子龙;曹智 | 申请（专利权）人： | 山东元旭光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 殷盛江 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆上片技术领域，提供了一种晶圆自动装盘装置，包括工作台，工作台上滑动安装有驱动装置驱动的定位托板，定位托板上表面设有若干定位销，一端底部固定安装有插杆；工作台沿定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构、螺丝供料器和放片机械臂，料盘取盖机构和自动上螺丝机构均位于定位托板的上方，且料盘取盖机构与载具抬升机构对应设置，螺丝供料器与自动上螺丝机构对应设置，放片机械臂末端设有晶圆取放机构；工作台上还开设有摄片孔，工作台的下方固定安装有拍摄机构。本发明不但能够确保晶圆于料盘内精准角度、位置的放置，装盘效率大大提高，且有效避免了在装盘过程中意外划伤晶圆现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 装置 | ||
【主权项】：
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