[发明专利]惯性传感器、电子设备和移动体有效
| 申请号： | 202010739324.2 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN112305262B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 沈丹阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 惯性传感器、电子设备和移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着Y轴的摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在从与所述Y轴正交的Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，在所述检测电极与所述可动体之间形成静电电容；露出部，设置在所述检测电极的内侧，供所述基板的所述可动体一侧的面露出；突起，在从所述Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，并从所述基板的所述露出部向所述可动体一侧突出设置；以及覆盖电极，设置在所述突起的顶部，所述覆盖电极与所述可动体为等电位。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010739324.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：分析装置、程序以及分析方法
- 下一篇：服务器、信息处理系统以及信息处理方法
