[发明专利]一种温度自补偿式非本征法布里珀罗腔及制作方法有效

专利信息
申请号: 202010734713.6 申请日: 2020-07-27
公开(公告)号: CN111854813B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 邵志强;孙志强;王伟;宋尔冬;尚瑛琦;刘志远 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所;哈尔滨工程大学
主分类号: G01D5/353 分类号: G01D5/353
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 杨晓辉
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种温度自补偿式非本征法布里珀罗腔及制作方法,解决了现有非本征法布里珀罗腔受温度影响的问题,属于光纤传感技术领域。本发明的非本征法布里珀罗腔包括蓝宝石膜片、二氧化硅基座和蓝宝石柱片,蓝宝石膜片位于二氧化硅基座顶部,所述氧化硅基座由二氧化硅侧壁和二氧化硅底座组成;二氧化硅侧壁和二氧化硅底座与蓝宝石膜片构成真空腔,蓝宝石柱片设置在真空腔内,并固定在蓝宝石膜片的底部中心位置。本发明还提供了制作方法。本发明增强了非本征F‑P腔的应用温度范围,降低了成本,又让光在F‑P腔中传输没有较大传输损耗,增加了F‑P腔的使用寿命,适应较宽的温度范围内进行光学信号的温度补偿,大大减小了光学解调部分的工作量。
搜索关键词: 一种 温度 补偿 征法布里珀罗腔 制作方法
【主权项】:
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