[发明专利]MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法在审
| 申请号： | 202010721799.9 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112291694A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | A·韦斯鲍尔;P·A·布雷格·劳滨·托雷斯·亚马拉尔;A·卡斯帕尼;N·德米勒里;M·菲尔德纳 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R23/00 | 分类号： | H04R23/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄倩 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法。MEMS换能器，包括第一和第二差分MEMS传感器设备。第一差分MEMS传感器设备包括用于提供第一差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。第二差分MEMS传感器设备包括用于提供第二差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。一种偏置电路，用于将第一偏置电压提供给第一差分MEMS传感器设备的第三电极结构，并将第二偏置电压提供给第二差分MEMS传感器设备的第三电极结构，第一偏置电压和第二偏置电压相对于参考电压对称地偏移。读出电路被配置为以反并行方式组合第一差分输出信号和第二差分输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 以及 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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