[发明专利]一种扩大单晶金刚石籽晶尺寸及数量的方法有效

专利信息
申请号: 202010719505.9 申请日: 2020-07-23
公开(公告)号: CN111690981B 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 于盛旺;高洁;郑可;黑鸿君;马永;周兵 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: C30B25/20 分类号: C30B25/20;C30B29/04
代理公司: 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 代理人: 张宏
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明为一种扩大单晶金刚石籽晶尺寸及数量的方法,解决了大尺寸金刚石单晶制备技术难度高的问题。本发明采用取向为(100)的单晶金刚石作为籽晶,首先通过一次沉积将单晶金刚石生长为方形,然后沿对角线切割为两个等腰三角柱体,将切割面抛光后作为生长面进行二次沉积,使金刚石沿垂直切割面方向生长,再沿新生长的方形对角线和底部再次切割,形成两个大等腰三角柱体和一个原始小等腰三角柱体,将获得的大等腰三角柱体的切割面抛光后作为生长面进行三次沉积生长,最后沿切割面垂直方向切割,即可获得多片取向为(100)、尺寸扩大多倍的金刚石籽晶。本发明方法操作简单,能够快速的同时增大单晶金刚石的尺寸及数量。
搜索关键词: 一种 扩大 金刚石 籽晶 尺寸 数量 方法
【主权项】:
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