[发明专利]压力传感器和电子装置有效
| 申请号： | 202010704520.6 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111811703B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 梁魁 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器技术领域，提出一种压力传感器和电子装置。该压力传感器包括衬底基板、薄膜晶体管、电极层和弹性导体层；薄膜晶体管设于衬底基板之上；绝缘层组设于薄膜晶体管的远离衬底基板的一侧，绝缘层组上设置有过孔；电极层设于绝缘层组的远离衬底基板的一侧，电极层包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置有间隔空间，第一电极通过过孔连接于薄膜晶体管的源极或漏极；弹性导体层设于电极层的远离衬底基板的一侧，弹性导体层的电阻能够随施加在其上的压力的变化而变化，使通过第一电极和第二电极之间的电流发生变化。该压力传感器的响应度高、灵敏度较高、有超低的检测限。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 电子 装置 | ||
【主权项】：
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