[发明专利]压力传感器和电子装置

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：

衬底基板；

薄膜晶体管，设于所述衬底基板之上；

绝缘层组，设于所述薄膜晶体管的远离所述衬底基板的一侧，所述绝缘层组上设置有过孔；

电极层，设于所述绝缘层组的远离所述衬底基板的一侧，所述电极层包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极之间设置有间隔空间，所述第一电极通过所述过孔连接于所述薄膜晶体管的源极或漏极；

弹性导体层，设于所述电极层的远离所述衬底基板的一侧，所述弹性导体层的电阻能够随施加在其上的压力的变化而变化，使通过第一电极和第二电极之间的电流发生变化；

所述弹性导体层包括：

弹性绝缘膜；

导体膜，设于所述弹性绝缘膜的靠近所述电极层的一侧；

所述弹性绝缘膜上设置有多个弹性凸起；一部分所述弹性凸起向靠近所述衬底基板一侧突出，另一部分所述弹性凸起向远离所述衬底基板一侧突出，所述弹性凸起是空心的，所述弹性凸起为纳米级。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述弹性绝缘膜的材质是聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚二甲基硅氧烷，所述导体膜的材质是掺杂银纳米离子、银纳米线或碳纳米管的3,4-乙烯二氧噻吩单体与苯乙烯磺酸混合物；所述银纳米离子、所述银纳米线或所述碳纳米管的导电率大于10⁵ s·cm^-1；所述3,4-乙烯二氧噻吩单体与苯乙烯磺酸混合物的导电率大于100 s·cm^-1。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括：

遮光层，与所述电极层同层同材料设置，所述薄膜晶体管的沟道在所述衬底基板上的正投影在所述遮光层在所述衬底基板上的正投影内。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：

栅极，设于所述衬底基板之上；

栅绝缘层，设于所述栅极的远离所述衬底基板的一侧；

有源层，设于所述栅绝缘层的远离所述衬底基板的一侧；

源漏极，设于所述有源层的远离所述衬底基板的一侧。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括：

接地电极，设于所述衬底基板与所述栅绝缘层之间，与所述栅极同层同材料设置。

6.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述衬底基板是柔性基板。

7.一种电子装置，其特征在于，包括：

权利要求1~6任意一项所述的压力传感器，所述压力传感器用于感测压力或识别指纹。