[发明专利]压力传感器和电子装置

说明书

本发明涉及传感器技术领域，提出一种压力传感器和电子装置。该压力传感器包括衬底基板、薄膜晶体管、电极层和弹性导体层；薄膜晶体管设于衬底基板之上；绝缘层组设于薄膜晶体管的远离衬底基板的一侧，绝缘层组上设置有过孔；电极层设于绝缘层组的远离衬底基板的一侧，电极层包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置有间隔空间，第一电极通过过孔连接于薄膜晶体管的源极或漏极；弹性导体层设于电极层的远离衬底基板的一侧，弹性导体层的电阻能够随施加在其上的压力的变化而变化，使通过第一电极和第二电极之间的电流发生变化。该压力传感器的响应度高、灵敏度较高、有超低的检测限。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种压力传感器和包括该压力传感器的电子装置。

背景技术

随着技术的不断进步，人们对周边环境信息的采集深度与广度不断提升，柔性压力传感器作为一类十分重要的信息采集器件得到越来越广泛的应用。不仅如此，以柔性压力传感技术替代传统的传感技术，颠覆了对传统电子器件、传感器件及系统等形态和功能的认知，该类器件为社会生活的多个方面带来了革命性变化，针对柔性压力传感器的研究也成为近年来的热点。

但是，现有的柔性压力传感器的各项性能不能很好的满足要求。

因此，有必要研究一种新的压力传感器和包括该压力传感器的电子装置。

所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的各项性能不能满足要求的不足，提供一种各项性能能够满足要求的压力传感器。

本发明的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本发明的实践而习得。

根据本公开的一个方面，提供一种压力传感器，包括：

衬底基板；

薄膜晶体管，设于所述衬底基板之上；

绝缘层组，设于所述薄膜晶体管的远离所述衬底基板的一侧，所述绝缘层组上设置有过孔；

电极层，设于所述绝缘层组的远离所述衬底基板的一侧，所述电极层包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极之间设置有间隔空间，所述第一电极通过所述过孔连接于所述薄膜晶体管的源极或漏极；

弹性导体层，设于所述电极层的远离所述衬底基板的一侧，所述弹性导体层的电阻能够随施加在其上的压力的变化而变化，使通过第一电极和第二电极之间的电流发生变化。

在本公开的一种示例性实施例中，所述弹性导体层包括：

弹性绝缘膜；

导体膜，设于所述弹性绝缘膜的靠近所述电极层的一侧。

在本公开的一种示例性实施例中，所述弹性绝缘膜上设置有多个弹性凸起。

在本公开的一种示例性实施例中，一部分所述弹性凸起向靠近所述衬底基板一侧突出，另一部分所述弹性凸起向远离所述衬底基板一侧突出。

在本公开的一种示例性实施例中，所述弹性绝缘膜的材质是聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚二甲基硅氧烷，所述导体膜的材质是掺杂银纳米离子、银纳米线或碳纳米管的3,4-乙烯二氧噻吩单体与苯乙烯磺酸混合物；所述银纳米离子、所述银纳米线或所述碳纳米管的导电率大于10⁵s·cm-1；所述3,4-乙烯二氧噻吩单体与苯乙烯磺酸混合物的导电率大于100s·cm-1。

在本公开的一种示例性实施例中，所述压力传感器还包括：