[发明专利]一种锑化镓多晶原料的合成装置及方法有效
| 申请号： | 202010659461.5 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111647947B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 吕冰 | 申请（专利权）人： | 苏州燎塬半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/00 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 田江飞 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种锑化镓多晶原料的合成装置及方法，该装置通过采用密闭的安瓿瓶，同时结合独特的石英坩埚结构和工艺设计，从而避免了高温下锑单质的大量挥发，成功获得了化学计量比接近1:1的锑化镓多晶原料，并且具有极好的工艺重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锑化镓 多晶 原料 合成 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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