[发明专利]压电产生装置及其制作方法、微机电系统有效
| 申请号： | 202010645796.1 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN111682100B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 初宝进;田冬霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/083;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 尹秀 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种压电产生装置及其制作方法、微机电系统，该压电产生装置中的压电元件包括硅衬底和第一金属电极，其中，所述硅衬底的第一表面具有与空气接触形成的第一压电层，该压电元件在受到作用力，产生形变时，可以产生电荷。而且，该压电产生装置的压电元件在制作时，只需先使所述硅衬底的第一表面与空气接触形成第一压电层，再在该第一电压层表面形成第一金属电极即可，结构和制作工艺简单，从而可以简化具有该压电元件的压电产生装置的制备工艺，进而简化具有该压电产生装置的微机电系统MEMS的制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 产生 装置 及其 制作方法 微机 系统 | ||
【主权项】：
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