[发明专利]包括栅极层和竖直结构的半导体器件在审

专利信息
申请号: 202010629180.5 申请日: 2020-07-02
公开(公告)号: CN112185966A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 金俊亨;千志成 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11519 分类号: H01L27/11519;H01L27/11524;H01L27/11556;H01L27/11565;H01L27/1157;H01L27/11582
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 倪斌
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种半导体器件包括:衬底上的竖直结构;以及衬底上的层间绝缘层和栅极层,其中,栅极层顺序堆叠在存储单元阵列区中并延伸到延伸区中,栅极层在延伸区中具有呈阶梯结构的焊盘区,第一竖直结构的表面面对栅极层,第二竖直结构的表面面对至少一个栅极层,第一竖直结构包括第一芯图案、第一半导体层和焊盘图案,第二竖直结构包括第二芯图案和第二半导体层,每个芯图案包括绝缘材料,并且第二半导体层的上表面和第二芯图案的上表面距衬底比第一芯图案的上表面距衬底更远。
搜索关键词: 包括 栅极 竖直 结构 半导体器件
【主权项】:
暂无信息
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