[发明专利]光电探测器及其制备方法

摘要

本申请属于光电子技术领域，尤其涉及一种光电探测器，所述光电探测器包括依次叠层设置的P型衬底层、非导电介质层、光生载流子接收层和光电转换层，以及设置在光电转换层相对的两端的金属电极层，且所述金属电极层与所述光生载流子接收层接触设置；所述光生载流子接收层包括石墨烯，所述光电转换层包括贫氧二氧化钛或者掺杂铜的二氧化钛。本申请光电探测器，通过光电转换层中贫氧二氧化钛或者掺杂铜的二氧化钛，不但能更好的减少因石墨烯表面的脱附效应产生的暗电流，并且可增加场效应管响应面积，提高光电探测器在可见光范围内的响应度和探测灵敏度。