[发明专利]一种适用于MPCVD的TM022模式微波等离子体反应器

摘要

本发明涉及微波等离子体反应器技术领域，具体是一种适用于MPCVD的TM022模式微波等离子体反应器，用于解决现有技术反应器中在钼托盘上不能产生扁平等离子体，从而降低了金刚石晶体或镀膜生长效率的问题。本发明包括反应腔体和同轴馈入，所述反应腔体内安装有钼托盘，所述石英密封窗的顶面安装有水冷台，所述钼托盘安装在水冷台的顶面，所述水冷台内开有与同轴馈入连通的通道，所述水冷台的顶面还开有与通道连通且位于钼托盘底面的凹坑，所述钼托盘的边缘还开有与凹坑连通的通孔。本发明在微波高强场和温度场的共同作用下，在反应器中得到一个扁平分布的高折合电场区域，进而得到扁平的等离子体，提高金刚石晶体的生长效率。