[发明专利]MEMS振动式陀螺仪结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202010597572.8 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111551161A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 李磬 | 申请（专利权）人： | 江苏睦荷科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01C19/5628 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 张悦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS振动式陀螺仪及其制造方法，属于MEMS陀螺仪传感器设计和加工领域，其技术方案要点是包括盖板硅片、结构硅片和衬底硅片，盖板硅片、结构硅片和衬底硅片自上而下逐层布置组成带有真空腔体的结构，所述结构硅片上安装有器件，所述器件包括两个质量块、四个驱动框、四个检测框、若干弹性连接梁和锚点，本发明的优点在于采用真空键合的方法实现了对器件的真空封装，方法简单且高效，提高了器件成品率，降低了器件制备的成本，适用于批量生产，生产的陀螺仪可有效抑制误差，提高器件的精度和性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 振动 陀螺仪 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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