[发明专利]一种具有折射率可调的复合增透膜的可见光LED芯片

摘要

本发明涉及光电子技术，特别公开了一种具有折射率可调的复合增透膜的可见光LED芯片，其结构包括衬底、缓冲层、N型层、量子阱层、P型层、ITO层以及覆盖在ITO层上的带有多孔微结构的复合增透膜层，所述复合增透膜层包括多孔Al2O3层和增透层。本发明能够通过调节ITO层厚度、多孔Al2O3层的孔径和厚度、增透层的材料和厚度，则可以将界面反射率降到最低来实现最佳增透作用，有效减少LED出光时的反射损耗，同时通过微结构复合增透膜减少由芯片到空气中的光线全反射，极大的提高LED芯片光强。