[发明专利]铝衬底的富Al组分氮化物材料生长方法及铝衬底结构有效
| 申请号： | 202010560043.0 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111640834B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 周启航 | 申请（专利权）人： | 佛山紫熙慧众科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/32 | 分类号： | H01L33/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇罗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了铝衬底的富Al组分氮化物材料生长方法及铝衬底结构。该铝衬底的富Al组分氮化物材料生长方法，包括以下步骤：提供一铝衬底，并在铝衬底上表面氮化一层多晶AlN膜层；在所述多晶AlN膜层上沉积生长AlN成核层；在所述AlN成核层上沉积生长AlN缓冲层；在所述AlN缓冲层上外延生长高晶体质量的AlN膜层。本申请实施例通过在铝衬底上依次生长一多晶AlN膜层一AlN成核层、一AlN缓冲层以及一高晶体质量的AlN膜层，从而形成低成本高晶体质量的富Al组分氮化物材料的铝衬底结构，可以降低成本，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 al 组分 氮化物 材料 生长 方法 结构 | ||
【主权项】：
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