[发明专利]基于MEMS技术的微型动态压力传感器检测系统有效
| 申请号： | 202010557244.5 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111458073B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张凯 | 申请（专利权）人： | 山东赛马力动力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00;G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人： | 蔡宜飞 |
| 地址： | 261061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS技术的微型动态压力传感器检测系统，包括箱体、送气单元、固定单元、检测单元、合页、箱门、观察窗、旋钮和中控单元。本发明通过在箱体顶部设置送气单元，并将送气单元的进气端分别与储存有对应气体的储气罐相连，在对待检测传感器参数进行检测时，能够根据实际情况选取对应种类的气体并将其通入至箱体内部以模拟传感器的实际工作环境，能够有效避免气体环境的不同对检测时产生的偏差，从而提高了检测后传感器参数的精度，同时，所述系统还会根据待检测传感器的具体工作环境选用不同的检测标准，即不同的检测压力范围对待检测传感器进行针对性检测，提高了所述系统的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 微型 动态 压力传感器 检测 系统 | ||
【主权项】：
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