[发明专利]一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法有效

专利信息
申请号: 202010556547.5 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN111637859B 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 谢军;杜凯;高莎莎;王红莲;易泰民;蒋柏斌;杨洪;郑凤成;何智兵;张海军;魏胜;袁光辉;童维超;梁榉曦;张荩月;任玮 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01B21/08 分类号: G01B21/08;G21B1/19
代理公司: 中国工程物理研究院专利中心 51210 代理人: 刘璐;冯玲玲
地址: 621999 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供了一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法,通过分别在标准材料台阶与待测材料薄膜表面特定区域做标识,对标准材料台阶与待测材料薄膜进行测量,再将待测材料薄膜的测量区域装配到标准材料台阶测量对应区域范围内,以待测材料薄膜上的标记点为阻抗匹配靶的标记点,测量阻抗匹配靶装配后的表面形貌。本发明阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法实现了阻抗匹配靶测量区域的标记简单、易实现的特点,且通过所作标记,能够实现激光打靶时位置在实际测量区域范围内,减小测量误差导致的实验结果的不确定度。
搜索关键词: 一种 阻抗匹配 激光 作用 有效 区域 确定 方法
【主权项】:
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